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GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

GB/T 37053-2018

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标准GB/T 37053-2018标准状态

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  • 标准名称：氮化镓外延片及衬底片通用规范
  • 标准号：GB/T 37053-2018
    中国标准分类号：H83
  • 发布日期：2018-12-28
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2019-07-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氮化镓外延片（以下简称外延片）及氮化镓衬底片（以下简称衬底片）的通用规范，包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件，以及微波与电力电子功率器件。

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥彩虹蓝光科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、

起草人

丁晓民、 刘南柳、 修向前、 孙永健、 潘尧波、徐科、王香、张国义、

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