GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 37053-2018
国家标准推荐性标准GB/T 37053-2018标准状态
- 发布于:2018-12-28
- 实施于:2019-07-01
- 废止
内容简介
国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氮化镓外延片(以下简称外延片)及氮化镓衬底片(以下简称衬底片)的通用规范,包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件,以及微波与电力电子功率器件。
起草单位
东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥彩虹蓝光科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、
起草人
丁晓民、 刘南柳、 修向前、 孙永健、 潘尧波、徐科、王香、张国义、
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