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GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method

GB/T 4060-2018

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  • 标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
  • 标准号：GB/T 4060-2018
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2018-09-17
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2019-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 4060-2007
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、峨嵋半导体材料研究所、

起草人

胡伟、 刘晓霞、 王桃霞、 胡自强、 万烨、 杨旭、 耿全荣、鲁文锋、宗冰、肖建忠、

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