GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片
GB/T 12964-2018
国家标准推荐性标准GB/T 12964-2018标准状态
- 发布于:2018-09-17
- 实施于:2019-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅单晶抛光片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于制作集成电路、分立元件、功率器件等,或作为硅外延片的衬底。
起草单位
有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、有色金属技术经济研究院、
起草人
孙燕、 卢立延、 楼春兰、 杨素心、 徐新华、张海英、潘金平、张雪囡、
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