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GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

GB/T 16596-2019

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标准GB/T 16596-2019标准状态

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  • 标准名称：确定晶片坐标系规范
  • 标准号：GB/T 16596-2019
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：2019-03-25
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2020-02-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 16596-1996
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。

起草单位

有色金属技术经济研究院、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、

起草人

卢立延、 孙燕、 楼春兰、 胡金枝、 潘金平、杨素心、李素青、

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