GB/T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
GB/T 32996-2016
国家标准推荐性标准GB/T 32996-2016标准状态
- 发布于:2016-10-13
- 实施于:2017-09-01
- 废止
内容简介
国家标准《表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1nm~10000nm的氧化物膜,氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
起草单位
上海市计量测试技术研究院、中国科学院化学研究所、华东师范大学、
起草人
徐建、 郝萍、 吴立敏、 陈永康、 张云艳、刘芬、朱丽娜、周莹、
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