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GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS)

GB/T 32650-2016

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标准GB/T 32650-2016标准状态

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  • 标准名称：电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
  • 标准号：GB/T 32650-2016
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2016-04-25
    国际标准分类号：31.030
  • 实施日期：2016-11-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素的测定方法。本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照本标准执行。

起草单位

国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、中国电子技术标准化研究院、江苏太平洋石英股份有限公司、

起草人

李运强、 薄雷明、 许振午、 武为民、 冯亚彬、管琪、周文梅、

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