GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
GB/T 15871-1995
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标准GB/T 15871-1995标准状态
- 发布于:1995-12-22
- 实施于:1996-08-01
- 废止
内容简介
国家标准《硬面光掩模基板》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板(以下简称基板)。
起草单位
长沙韶光微电子总公司、
起草人
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