GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范
GB/T 17865-1999
国家标准推荐性标准GB/T 17865-1999标准状态
- 发布于:1999-09-13
- 实施于:2000-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《焦深与最佳聚焦的测量规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
IC行业中的光刻及光掩模制造工艺需要对IC光刻设备如光学图形发生器、分步重复精缩机、分步重复投影光刻机、扫描曝光系统等(以下简称为设备)的聚焦深度、像散和场畸变进行测量并提出报告,本标准解释他们常用的术语的含义和所用的基本技术。 本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚焦与焦深测量问题。由于设备技术多种多样,因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。 注:在确定适合某项应用的最佳焦点时,这个方法是颇有价值的。但它的主要目的是通过测定焦深、像散和场畸变来比较不同的设备和工艺。 对于某一个具体设备来说,焦深、像散和场畸变数值的测定离不开图像几何尺寸和图像转印工艺的影响。这些数值必须在适应该设备的某个实际使用过程的各种限制条件下进行测定,包括照明、工艺、目标图形和环境。因此,为了公正测定设备的性能,所用的工艺必须适合相应设备和使用条件,而且应针对相应设备和应用过程进行优化。两个不同设备的性能比较实质上是综合应用的比较,其中包括该设备专用的工艺。在焦深、像散或场畸变的测量是报告中,工艺描述是必不可少的部分。如果借鉴的数据是从与相应设备所需应用条件偏离太大的情况下取得的,则这样的数据将引入误差,还可能引起意想不到的工艺失败。
起草单位
中国科学院微电子中心、
起草人
相近标准
GB/T 20249-2006 声学 聚焦超声换能器发射场特性的定义与测量方法
SJ/T 11759-2020 光伏电池电极栅线高宽比的测量 激光扫描共聚焦显微镜法
GB/T 32522-2016 声学 压电球面聚焦超声换能器的电声特性及其测量
GB/T 19890-2005 声学 高强度聚焦超声(HIFU)声功率和声场特性的测量
20230278-T-607 灯头的型式和尺寸 第3部分:预聚焦式灯头
GB/T 18779.4-2020 产品几何技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第4部分:判定规则中功能限与规范限的基础
SY/T 5942-1994 微球形聚焦测井仪维修技术规范
GB/T 18779.2-2023 产品几何技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第2部分:GPS测量、测量设备校准和产品验证中的测量不确定度评估指南
GB/T 20171-2006 用于工业测量与控制系统的EPA系统结构与通信规范
GB/T 18779.3-2023 产品几何技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第3部分:关于测量不确定度表述达成共识的指南
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。
- 标准质量:
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们,感谢!
③ 本站资源均来源于互联网,仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。
下载说明
「相关推荐」
- 1 GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和
- 2 GB/T 17711-1999 钇钡铜氧(123相)超导薄膜临界温度Tc的直流电阻试验
- 3 GB/T 12560-1999 半导体器件 分立器件分规范
- 4 GB/T 5597-1999 固体电介质微波复介电常数的测试方法
- 5 GB/T 6426-1999 铁电陶瓷材料电滞回线的准静态测试方法
- 6 GB/T 6427-1999 压电陶瓷振子频率温度稳定性的测试方法
- 7 GB/T 16894-1997 大于100A,环境和管壳额定的整流二极管(包括雪崩整
- 8 GB/T 3047.1-1995 高度进制为20mm的面板、架和柜的基本尺寸系列
- 9 GB/T 14024-1992 内燃机电站无线电干扰特性的测量方法及允许值 传
- 10 GB/T 15395-1994 电子设备机柜通用技术条件
- 11 GB/T 15136-1994 半导体集成电路石英钟表电路测试方法的基本原理
- 12 GB/T 14182-1993 变像管和像增强管总规范(可供认证用)