GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
GB/T 16878-1997
国家标准推荐性标准GB/T 16878-1997标准状态
- 发布于:1997-06-20
- 实施于:1998-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本规范规定若干种标准测试图形,用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。 本规范针对线宽计量、分辨率测试和邻近效应测试的需要,规定若干种基本测试图形单元的形状、一般尺寸、以及推荐的布局和设计规则。这些标准图形包括可供光学显微镜、电子显微镜和电子探针测量用的各种图形单元。 本规范不规定验证母版上测试图形关键尺寸的测量技术,也不规定如何测量大圆片上的光刻图形,只规定若干种必要的基本测试图形,以及用户实施符合本规范的实际测试图形。
起草单位
中国科学院缩微电子中心、
起草人
相近标准
GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
SJ/T 11605-2016 基于射频识别技术的用于产品和服务域名规范
TB/T 2963-2013 牵引动力单元标记和图形符号
JR/T 0045.2-2014 中国金融集成电路(IC)卡检测规范 第2部分:借记/贷记应用终端检测规范
JR/T 0045.1-2014 中国金融集成电路(IC)卡检测规范 第1部分:借记/贷记应用卡片检测规范
JR/T 0045.5-2014 中国金融集成电路(IC)卡检测规范 第5部分:非接触终端检测规范
JR/T 0045.4-2014 中国金融集成电路(IC)卡检测规范 第4部分:非接触卡片检测规范
JR/T 0045.3-2014 中国金融集成电路(IC)卡检测规范 第3部分:借记/贷记应用个人化检测规范
GB/T 40283.4-2023 自动化系统与集成 制造应用解决方案的能力单元互操作 第4部分:制造应用需求的能力单元评估
YD/T 1329-2004 通信设备过电压过电流保护用集成电路型保安单元
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。
- 标准质量:
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们,感谢!
③ 本站资源均来源于互联网,仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。
下载说明
「相关推荐」
- 1 GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
- 2 GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
- 3 GB/T 16822-1997 介电晶体介电性能的试验方法
- 4 GB/T 2987-1996 电子管参数符号
- 5 GB/T 3047.8-1996 高度进制为44.45mm的窄柜基本尺寸系列
- 6 GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
- 7 GB/T 12864-1997 电子设备用压电陶瓷滤波器 电子元器件质量评定体
- 8 GB/T 12865-1997 电子设备用压电陶瓷滤波器 电子元器件质量评定体
- 9 GB/T 17190-1997 电子设备用压电陶瓷滤波器 电子元器件质量评定体
- 10 GB/T 5095.1-1997 电子设备用机电元件 基本试验规程及测量方法 第
- 11 GB/T 5095.2-1997 电子设备用机电元件 基本试验规程及测量方法 第
- 12 GB/T 5095.3-1997 电子设备用机电元件 基本试验规程及测量方法 第