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GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

GB/T 16527-1996

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标准GB/T 16527-1996标准状态

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  • 标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
  • 标准号：GB/T 16527-1996
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：1996-09-09
    国际标准分类号：31.200
  • 实施日期：1997-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。 本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。

起草单位

长沙韶光微电子总公司、

起草人

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