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GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilane for silicon epitaxial

GB/T 30652-2014

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标准GB/T 30652-2014标准状态

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  • 标准名称：硅外延用三氯氢硅
  • 标准号：GB/T 30652-2014
    中国标准分类号：H83
  • 发布日期：2014-12-31
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2015-09-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 30652-2023代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅外延用三氯氢硅（SiHC13）的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单（或合同）内容。本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。

起草单位

中锗科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、

起草人

赵立奎、 张莉萍、 刘新军、 郑华荣、 谭卫东、金龙、

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