GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
GB/T 38446-2020
国家标准推荐性标准GB/T 38446-2020标准状态
- 发布于:2020-03-06
- 实施于:2020-10-01
- 废止
内容简介
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
起草单位
北京大学、北京智芯传感科技有限公司、中北大学、中机生产力促进中心、无锡华润上华科技有限公司、北京必创科技股份有限公司、
起草人
张威、 李海斌、 夏长奉、 石云波、 程红兵、 周浩楠、 张亚婷、朱悦、陈得民、马书嫏、
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