当前位置：标准网 国家标准

GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）

GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）

Micro nano standard samples（geometric）

GB/T 39516-2020

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 39516-2020标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：微纳米标准样板（几何量）
  • 标准号：GB/T 39516-2020
    中国标准分类号：J42
  • 发布日期：2020-11-19
    国际标准分类号：17.040.30
  • 实施日期：2021-06-01
    技术归口：全国量具量仪标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国机械工业联合会
  • 标准分类：计量学和测量、物理现象长度和角度测量测量仪器仪表

内容简介

国家标准《微纳米标准样板（几何量）》由TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。本标准适用于线间隔为0.05μm~10pm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01μm~100μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~1000nm的纳米线宽标准样板。

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、广西壮族自治区计量检测研究院、上海市计量测试技术研究院、珠海市怡信测量科技有限公司、成都工具研究所有限公司、中国计量科学研究院、中国计量大学、

起草人

李锁印、 付兴昌、 赵琳、 冯亚南、 姜志刚、 许刚、 雷李华、 赵军、 傅云霞、 梁法国、韩志国、许晓青、张晓东、苏翼雄、张恒、张松涛、蔡潇雨、

相近标准

20213060-T-604 纳米几何量标准样板测试方法
DB13/T 5866-2023 微纳米线距标准样板校准方法
20230199-T-469 微纳米单纤维拉伸性能试验方法
20204112-T-491 纳米技术 纳米材料与气体表界面作用热力学和动力学参数测量 谐振微质量法
GB/T 19765-2005 产品几何量技术规范(GPS)--产品几何量技术规范和检验的标准参考温度

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」