GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法
GB/T 39163-2020
国家标准推荐性标准GB/T 39163-2020标准状态
- 发布于:2020-11-19
- 实施于:2021-10-01
- 废止
内容简介
国家标准《靶材与背板结合强度测试方法》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。注:靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
起草单位
有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、
起草人
丁照崇、 陈明、 贺昕、 林若虚、 曹欢欢、 王云能、 曹晓萌、 张静、 赵永善、熊晓东、李勇军、张晓娜、袁海军、李利利、王传军、
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