GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法
GB/T 5252-2020
国家标准推荐性标准GB/T 5252-2020标准状态
- 发布于:2020-06-02
- 实施于:2021-04-01
- 废止
内容简介
国家标准《锗单晶位错密度的测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。本标准适用于{111}、{100}和{013}面锗单晶位错密度的测试,测试范围为0cm-2~100000cm-2。
起草单位
有研光电新材料有限责任公司、国合通用测试评价认证股份公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中锗科技有限公司、北京国晶辉红外光学科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、义乌力迈新材料有限公司、
起草人
张路、 冯德伸、 姚康、 刘新军、 韦圣林、 黄洪伟文、 马会超、普世坤、郭荣贵、向清华、
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