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GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

GB/T 11164-2011

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标准GB/T 11164-2011标准状态

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  • 标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
  • 标准号：GB/T 11164-2011
    中国标准分类号：J78
  • 发布日期：2011-11-21
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2012-03-01
    技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 11164-1999
    主管部门：中国机械工业联合会
  • 标准分类：流体系统和通用件真空技术

内容简介

国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。

起草单位

北京北仪创新真空技术有限责任公司、兰州真空设备有限责任公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等、上海曙光机械制造厂有限公司、成都南光机器有限公司、

起草人

陈月增、 谢钧荣、 温发兰、 范立群、孙凯、

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