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GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范

GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范

Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering

GB 50467-2008

国家标准强制性
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标准GB 50467-2008标准状态

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标准详情

  • 标准名称：微电子生产设备安装工程施工及验收规范
  • 标准号：GB 50467-2008
    中国标准分类号：P80
  • 发布日期：2008-12-15
    国际标准分类号：31
  • 实施日期：2009-07-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：住房和城乡建设部
  • 标准分类：工程建设机电制造业工程电子学电子制造业工程

内容简介

为规范微电子生产设备安装工程施工，确保微电子生产设备安装质量和可靠运行，促进微电子生产设备安装技术的发展，制定本规范。本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及试生产。微电子生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件、承包文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施工，修改设计应由原设计单位的变更通知。用于检测的仪器仪表应经国家法定计量检定机构检定合格，并应在鉴定有效期内使用。微电子生产设备安装工程的施工及验收除应

起草单位

中国电子系统工程第二建设有限公司、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第五十八研究所、中国电子科集团公司第二研究所、中国电子工程设计院、信息产业电子第十一设计研究院有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、江南大学

起草人

王开源 邓顺志 严军 蒋迪宝 晁宇晴 沈贤平 王兴旺 于宗光 杨光明 李骥 王炤文

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