GB/T 18193-2000 真空技术质谱检漏仪校准_标准下载

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GB/T 18193-2000 真空技术质谱检漏仪校准

Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration

GB/T 18193-2000

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标准GB/T 18193-2000标准状态

发布于：2000-09-26
实施于：2001-02-01
废止

标准详情

标准名称：真空技术质谱检漏仪校准
标准号：GB/T 18193-2000
中国标准分类号：J78
发布日期：2000-09-26
国际标准分类号：23.160
实施日期：2001-02-01
技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：中国机械工业联合会
标准分类：流体系统和通用件真空技术

内容简介

国家标准《真空技术质谱检漏仪校准》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10Pa·m·s漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。

起草单位

沈阳真空技术研究所、

起草人

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