GB/T 22572-2008 表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法_标准下载

GB/T 22572-2008 表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

GB/T 22572-2008

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标准GB/T 22572-2008标准状态

发布于：2008-12-11
实施于：2009-10-01
废止

标准详情

标准名称：表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
标准号：GB/T 22572-2008
中国标准分类号：G04
发布日期：2008-12-11
国际标准分类号：71.040.40
实施日期：2009-10-01
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、

起草人

马农农、何友琴、何秀坤、

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