GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
GB/T 29557-2013
国家标准推荐性标准GB/T 29557-2013标准状态
- 发布于:2013-07-19
- 实施于:2014-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
起草单位
中山大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学、
起草人
陈建、 张训生、 张卫红、 盛世善、 谢方艳、龚力、
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