GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液
GB/T 30901-2014
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标准GB/T 30901-2014标准状态
- 发布于:2014-07-08
- 实施于:2014-12-01
- 废止
内容简介
国家标准《高纯氟化铵溶液》由TC63(全国化学标准化技术委员会)归口,TC63SC1(全国化学标准化技术委员会无机化工分会)执行,主管部门为中国石油和化学工业联合会。
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
起草单位
浙江凯恒电子材料有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、中海油天津化工研究设计院等、福建省邵武市永飞化工有限公司、巨化集团技术中心、
起草人
田志扬、 赵晓亚、 张红英、 周鹏鹏、 万群平、林益兴、
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