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JB/T 8946-1999 真空离子镀膜设备

JB/T 8946-1999 真空离子镀膜设备

JB/T 8946-1999

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标准详情

  • 标准名称：真空离子镀膜设备
  • 标准号：JB/T 8946-1999
    中国标准分类号：J70
  • 发布日期：1999-07-12
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2000-01-01
    技术归口：
  • 代替标准：被JB/T 8946-2010代替
    主管部门：国家机械工业局
  • 标准分类：流体系统和通用件机械JB 机械

内容简介

行业标准《真空离子镀膜设备》，主管部门为国家机械工业局。本标准规定了真空离子镀膜设备的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10^(-4)～10^(-3)Pa范围的真空离子镀膜设备，具体包括如下类型：多弧离子镀、电弧放电型真空离子镀、空心阴极离子镀(HCD)、射频离子镀(RFIP)、直流放电二极型(DCIP)、多阴极型、活性反应蒸发镀(ARE)、增强型ARE、低压等离子体离子镀(LFPD)、电场蒸发离子镀、感应加热离子镀、簇团离子束镀等。注：离子镀是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发

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