当前位置：标准网 行业标准

YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

YS/T 936-2013

行业标准-YS 有色金属推荐性
收藏报错

标准YS/T 936-2013标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材
  • 标准号：YS/T 936-2013
    中国标准分类号：H62
  • 发布日期：2013-10-17
    国际标准分类号：77.150
  • 实施日期：2014-03-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属产品镍和铬产品YS 有色金属

内容简介

行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

董亭义、何金江

相近标准

20220333-T-610 高纯镍靶材
GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材
YS/T 937-2013 镍铂靶材
SJ/T 11029-2015 电子器件用金镍纤料的分析方法 EDTA容量法测定镍
YS/T 908-2013 电真空器件用镍及镍合金板带材和棒材
SJ/T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法
SJ/T 1542-2020 电真空器件用镍及镍合金化学分析方法
GB/T 15651-1995 半导体器件 分立器件和集成电路 第5部分:光电子器件
SJ/T 11030-2015 电子器件用金铜及金镍纤料中杂质 铅、锌、磷的ICP-AES测定方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」