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YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范

YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范

YS/T 986-2014

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称：晶片正面系列字母数字标志规范
  • 标准号：YS/T 986-2014
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：2014-10-14
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2015-04-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电气工程YS 有色金属

内容简介

行业标准《晶片正面系列字母数字标志规范》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅片或其他半导体晶片上一串连续的包括字母和数字的标记。该编号标记及关联信息被储存人数据库,对每个硅片起到了在硅片和器件制造期间追溯和控制的目的。本标准定义了晶片标记的基本编码规定。无需处理晶片,利用简单的自动光学字符识别设备就可以对该标记进行独立和快速人工识别,确保了硅片制造商对晶片标记的一致性,有利于监控晶片工艺的变化。本标准适用于广泛的晶片产品,如外延片、SOI片、抛光片等。本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置,尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。本标准不涉及制作标记的技术。

起草单位

有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司

起草人

张静、边永智

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