YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
YS/T 983-2014
行业标准-YS 有色金属推荐性收藏报错
标准YS/T 983-2014标准状态
- 发布于:2014-10-14
- 实施于:2015-04-01
- 废止
内容简介
行业标准《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%~100%。
起草单位
四川新光硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、峨嵋半导体材料研究所、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司
起草人
敖细平、王波
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