当前位置：标准网 行业标准

YS/T 985-2014 硅抛光回收片

YS/T 985-2014 硅抛光回收片

YS/T 985-2014

行业标准-YS 有色金属推荐性
收藏报错

标准YS/T 985-2014标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：硅抛光回收片
  • 标准号：YS/T 985-2014
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：2014-10-14
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2015-04-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电气工程YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅抛光回收片》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外,使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。

起草单位

浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司

起草人

何良恩、刘丹

相近标准

20220133-T-469 埋层硅外延片
YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法
GB/T 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范
GB/T 14139-2019 硅外延片
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
20204798-T-609 晶体硅光伏组件回收处理方法 物理法
QB/T 5543-2021 硼硅玻璃窑炉余热回收再利用技术要求

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」