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YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

YS/T 1060-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称:硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
  • 标准号:YS/T 1060-2015
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2015-04-30
    国际标准分类号:77.040
  • 实施日期:2015-10-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料化学分析制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。

起草单位

中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

刘新军、刘英杰、郑华荣

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