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YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称:异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
  • 标准号:YS/T 14-2015
    中国标准分类号:H21
  • 发布日期:2015-04-30
    国际标准分类号:77.040
  • 实施日期:2015-10-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准:代替YS/T 14-1991
    主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm~100μm。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华

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