YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
YS/T 14-2015
行业标准-YS 有色金属推荐性收藏报错
标准YS/T 14-2015标准状态
- 发布于:2015-04-30
- 实施于:2015-10-01
- 废止
内容简介
行业标准《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm~100μm。
起草单位
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人
马林宝、杨帆、葛华
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