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YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

YS/T 1025-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称：电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
  • 标准号：YS/T 1025-2015
    中国标准分类号：H63
  • 发布日期：2015-04-30
    国际标准分类号：77.150
  • 实施日期：2015-10-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、株洲凯特实业有限公司、西安方科新材料科技有限公司

起草人

姚力军、王学泽、丁照崇

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