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YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材

YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材

YS/T 1024-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 1024-2015标准状态

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标准详情

  • 标准名称：溅射用钽靶材
  • 标准号：YS/T 1024-2015
    中国标准分类号：H63
  • 发布日期：2015-04-30
    国际标准分类号：77.150
  • 实施日期：2015-10-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《溅射用钽靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)。

起草单位

宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司

起草人

钟景明、李桂鹏、汪凯

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