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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

YS/T 1031-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 1031-2015标准状态

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标准详情

  • 标准名称:化学气相沉积炉
  • 标准号:YS/T 1031-2015
    中国标准分类号:H91
  • 发布日期:2015-04-30
    国际标准分类号:77.180
  • 实施日期:2015-10-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《化学气相沉积炉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于化学气相沉积。

起草单位

湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

戴煜、胡祥龙、胡高健

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