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JB/T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备

JB/T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备

JB/T 6922-2015

行业标准-JB 机械推荐性
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标准详情

  • 标准名称：真空蒸发镀膜设备
  • 标准号：JB/T 6922-2015
    中国标准分类号：J78
  • 发布日期：2015-10-10
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2016-03-01
    技术归口：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)
  • 代替标准：代替JB/T 6922-2004
    主管部门：工业和信息化部/国家能源局
  • 标准分类：流体系统和通用件真空技术JB 机械制造业

内容简介

行业标准《真空蒸发镀膜设备》，主管部门为工业和信息化部/国家能源局。本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于极限压力在5×10Pa~5×10Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。

起草单位

中山凯旋真空技术工程有限公司、湖南玉丰真空科学技术有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、东莞市汇成真空科技有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所

起草人

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