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YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法

YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法

YS/T 1301-2019

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称:氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法
  • 标准号:YS/T 1301-2019
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2019-08-02
    国际标准分类号:77.040
  • 实施日期:2020-01-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243);全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
  • 代替标准:
    主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为0.3μg/kg~100μg/kg,三氯化磷的测定范围为3μg/kg~100μg/kg。

起草单位

内蒙古盾安光伏科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、新特能源股份有限公司

起草人

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