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YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法

YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法

YS/T 987-2021

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 987-2021标准状态

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标准详情

  • 标准名称：氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法
  • 标准号：YS/T 987-2021
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2021-12-02
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：2022-04-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243);全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
  • 代替标准：代替YS/T 987-2014
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料化学分析制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷)含量的测定，测定范围(质量分数)为0.000010%~0.10%。

起草单位

亚洲硅业(青海)股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司

起草人

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