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SJ/T 10553-2021 电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法

SJ/T 10553-2021 电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法

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标准详情

  • 标准名称：电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法
  • 标准号：SJ/T 10553-2021
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2021-03-05
    国际标准分类号：31.03
  • 实施日期：2021-06-01
    技术归口：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替SJ/T 10553—1994
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法。本标准适用于电子陶瓷用二氧化锆中铁、硅、磷、钙、镁和钛的氧化物杂质测定的中型摄谱仪方法。

起草单位

中国电子技术标准化研究院

起草人

张旭、张理、裴会川

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