YS/T 983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定气相色谱法_标准下载

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YS/T 983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定气相色谱法

YS/T 983-2024

行业标准-YS 有色金属推荐性

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标准YS/T 983-2024标准状态

发布于：2024-10-24
实施于：2025-05-01
废止

标准详情

标准名称：硅多晶还原炉尾气成分的测定气相色谱法
标准号：YS/T 983-2024
中国标准分类号：H17
发布日期：2024-10-24
国际标准分类号：77.04
实施日期：2025-05-01
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
代替标准：代替YS/T 983-2014
主管部门：工业和信息化部
标准分类：冶金制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅多晶还原炉尾气成分的测定气相色谱法》，主管部门为工业和信息化部。本文件描述了气相色谱法测定硅多晶还原炉尾气中各成分的方法。本文件适用于三氯氢硅法生产硅多晶还原炉尾气成分（氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅）的测定。检测下限体积分数为0.01%。

起草单位

亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海芯测科技有限公司、青海丽豪半导体材料有限公司、四川永祥股份有限公司、珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司、新疆戈恩斯能源科技有限公司

起草人

丁小海、韩成福、许保红、陈英春、邢成莉、岳峥、赵小飞、李寿琴、付国伟、赵娟龙

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