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YS/T 1740-2025 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法

YS/T 1740-2025 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法

YS/T 1740-2025

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 1740-2025标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法
  • 标准号：YS/T 1740-2025
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2025-04-10
    国际标准分类号：77.04
  • 实施日期：2025-11-01
    技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：冶金制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了用化学气相沉积法制备电子级三氯氢硅的评价样棒，并通过检测评价样棒的导电类型、电阻率、碳、施主和受主杂质含量来表征电子级三氯氢硅质量的规程。本文件适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。

起草单位

青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、新疆戈恩斯新能源科技有限公司、青海芯测科技有限公司

起草人

秦榕、薛心禄、李素青、王志强、曹俊英、万首正、赵娟龙、马淑霞、李球

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