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SJ 20635-1997 半绝缘砷化镓剩余杂质浓度微区试验方法

SJ 20635-1997 半绝缘砷化镓剩余杂质浓度微区试验方法

SJ 20635-1997

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 20635-1997标准状态

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标准详情

  • 标准名称：半绝缘砷化镓剩余杂质浓度微区试验方法
  • 标准号：SJ 20635-1997
    中国标准分类号：L50
  • 发布日期：1997-06-17
    国际标准分类号：31.260
  • 实施日期：1997-10-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

本标准规定了厚度为0.4～2.0mm的半绝缘砷化镓晶片中碳、EL2、铬和硅浓度的微区测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓晶片中主要剩余杂质碳、EL2、铬和硅浓度的测定。

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起草人

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