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SJ/T 10457-1993 俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则

SJ/T 10457-1993 俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则

SJ/T 10457-1993

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标准详情

  • 标准名称:俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则
  • 标准号:SJ/T 10457-1993
    中国标准分类号:L00
  • 发布日期:1993-12-17
    国际标准分类号:31.020
  • 实施日期:1994-06-01
    技术归口:
  • 代替标准:
    主管部门:电子工业部
  • 标准分类:电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则》,主管部门为电子工业部。本标准导则适用于采用磨角与截面法、球抗法、离子测射法、非破坏性深度剖析法进行俄歇电子能谱术尝试剖析。本标准导则可能涉及有害的物品、操作及设备。但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前,应该制定适当的安全与保健措施,并确定本导则的范围。

起草单位

天津电子材料研究所

起草人

标准主要起李岩松、刘咏梅、罗兴华、严如岳、华庆恒

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