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SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法

SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法

SJ/T 10481-1994

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标准SJ/T 10481-1994标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅外延层电阻率的面接触三探针方法
  • 标准号：SJ/T 10481-1994
    中国标准分类号：L10
  • 发布日期：1994-04-11
    国际标准分类号：31.020
  • 实施日期：1994-10-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《硅外延层电阻率的面接触三探针方法》，主管部门为电子工业部。本标准规定了测定硅外延层电阻率的面接触三探针方法。本标准适用于0．06-60∩cm的N/N^(+)或P/P^(+)型硅外延层电阻率的测量。

起草单位

电子工业部第四十六研究所、常熟半导体器件厂

起草人

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