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SJ/T 31069-1994 PRS-801型等离子去胶机完好要求和检查评定方法

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SJ/T 31069-1994

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本标准规定了半导体器件集成电路生产用等离子去胶机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于PRS-801型等离子去胶机。

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