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SJ/T 31116-1994 PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法

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本标准规定了PLA-501F型光刻机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于PLA-501F型光刻机，其它类型光刻机，亦可参照执行。

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