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SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31100-1994

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标准SJ/T 31100-1994标准状态

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标准详情

  • 标准名称:离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
  • 标准号:SJ/T 31100-1994
    中国标准分类号:L95
  • 发布日期:1994-04-15
    国际标准分类号:31-550
  • 实施日期:1994-06-01
    技术归口:
  • 代替标准:
    主管部门:
  • 标准分类:电子学机械SJ 电子金属切削机床特种加工机床

内容简介

本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。

起草单位

起草人

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