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SJ/T 31412-1994 W型真空泵完好要求和检查评定方法

SJ/T 31412-1994 W型真空泵完好要求和检查评定方法

SJ/T 31412-1994

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  • 标准名称:W型真空泵完好要求和检查评定方法
  • 标准号:SJ/T 31412-1994
    中国标准分类号:L95
  • 发布日期:2017-05-12
    国际标准分类号:31-550
  • 实施日期:1994-06-01
    技术归口:
  • 代替标准:
    主管部门:电子工业部
  • 标准分类:电子学机械通用机械与设备SJ 电子真空技术与设备

内容简介

本标准规定了w 型真空泵的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于各种W 型真空泵,其他类型的真空泵亦可参照执行。本标准规定了W型真空泵的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于各种W型真空泵,其他类型的真空泵亦可参照执行。

起草单位

中国华晶电子集团公司

起草人

张耀庭

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