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SJ/T 31455-1994 反渗透装置完好要求和检查评定方法

SJ/T 31455-1994 反渗透装置完好要求和检查评定方法

SJ/T 31455-1994

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标准SJ/T 31455-1994标准状态

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  • 标准名称：反渗透装置完好要求和检查评定方法
  • 标准号：SJ/T 31455-1994
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1994-04-15
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1994-06-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学机械通用机械与设备SJ 电子分离机械

内容简介

本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。

起草单位

国营华东电子管厂

起草人

沈鹏

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