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YS/T 27-1992 晶片表面微粒沾污测量和计数的方法

YS/T 27-1992 晶片表面微粒沾污测量和计数的方法

YS/T 27-1992

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 27-1992标准状态

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标准详情

  • 标准名称：晶片表面微粒沾污测量和计数的方法
  • 标准号：YS/T 27-1992
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：1992-03-09
    国际标准分类号：31.140
  • 实施日期：1993-01-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：中国有色金属工业总公司
  • 标准分类：电子学YS 有色金属

内容简介

行业标准《晶片表面微粒沾污测量和计数的方法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。本标准规定了应用显微技术,测量在平坦与不平坦的表面上沾有粒径大于5µm的微粒的方法,并统计一定粒径范围内的微粒数量。本标准适用于分析小型电子器件零部件的表面,也适用于检验硅片表面。

起草单位

上海第二冶炼厂

起草人

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