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SJ 2796-1987 电子级氧

SJ 2796-1987 电子级氧

SJ 2796-1987

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 2796-1987标准状态

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内容简介

本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧、按其使用要求电子级氧分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氧代号为：DZO2-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZO2- Ⅱ本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氧分为两级，代号为：电子Ⅱ级氧代号为：DZO|(2)-Ⅱ；电子l级氧代号为：DZO|(2)-I。

起草单位

电子工业部第二十四研究所、电子工业部标准化研究所

起草人

林耀泽、赵长春、周定华

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