标准详情
- 标准名称:同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法
- 标准号:SJ 3247-1989
- 中国标准分类号:H80
- 发布日期:1989-03-20
- 国际标准分类号:29.045
- 实施日期:1989-03-25
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电气工程技术管理综合标准化管理与一般规定SJ 电子
本标准规定了与衬底同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测量原理,仪器设备,样品制备测量步骤,结果计算和精度。本标准适用于与衬底同型砷化镓外延层厚度的测量,衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ωcm和大于0.1ΩZ·cm,可测厚度大于2μm。
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