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SJ 1550-1979 硅外延片检测方法

SJ 1550-1979 硅外延片检测方法

SJ 1550-1979

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 1550-1979标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅外延片检测方法
  • 标准号：SJ 1550-1979
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：1980-06-01
    国际标准分类号：31-030
  • 实施日期：2010-02-25
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：第四机械工业部
  • 标准分类：冶金电子学SJ 电子半金属与半导体材料半金属

内容简介

本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等

起草单位

起草人

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