SJ 20842-2002 砷化镓表面镓砷比的测试方法_标准下载

SJ 20842-2002 砷化镓表面镓砷比的测试方法

行业标准-SJ 电子强制性

本标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的X射线光电子能谱的试验方法。本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中各种表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响，也适用于晶片加工中的各种表面处理。

中国电子科技集团公司第四十六所

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